STEM透射電鏡是怎么來的？掃描電子顯微鏡已成為表征物質微觀結構*的儀器。在掃描電鏡中，電子束與試樣的物質發(fā)生相互作用，可產生二次電子、特征X射線、背散射電子等多種的信號，通過采集二次電子、背散射電子得到有關物質表面微觀形貌的信息，背散射電子衍射花樣得到晶體結構信息，特征X-射線得到物質化學成分的信息，這些得到的都是接近樣品表面的信息。在掃描電鏡中，電子束與薄樣品相互作用時，會有一部分電子透過樣品，這一部分透射電子也可用來成像，其形成的像就是掃描透射像(STEM像)。
 

　　STEM透射電鏡透射電子像的形成主要是入射電子束與樣品發(fā)生相互作用，當電子束穿過樣品逸出下表面時，電子束的強度發(fā)生了變化，從而投影到熒光屏上的強度是不均勻的，這種強度不均勻就形成了透射像。通常以襯度(Contrast，C)來描述透射電子所成的像，襯度指樣品電子像上相鄰區(qū)域的電子束強度差，即圖像的對比度，電子束被樣品散射后，根據(jù)樣品的性質不同，電子束的振幅和相位會發(fā)生相應的改變，形成振幅襯度像和相位襯度像，其中由于樣品的質量(原子序數(shù)、密度等)或者厚度的差異造成的透射電子束強度的差異而形成的襯度稱為質厚襯度，非晶材料的透射像襯度主要為質厚襯度像，入射電子透過樣品時碰到的原子數(shù)越多即樣品越厚，或者樣品原子核庫侖電場越強即原子序數(shù)或密度越大，被散射的大角度的電子越多，被擋在物鏡光闌之外越多，成像系統(tǒng)接受的電子數(shù)越少，那么襯度高，反之襯度越低。
 

　　在掃描電鏡上配置透射附件，應用透射模式(Scanning transmission electron microscopy，STEM)可得到物質的內部結構信息，STEM透射電鏡既有掃描電鏡的功能，又具備透射電鏡的功能，與透射電鏡相比，由于其加速電壓低，所以可顯著減少電子束對樣品的損傷，而且可大大提高圖像的襯度，特別適合于有機高分子、生物等軟材料樣品的透射分析。