歐波同第三方檢測|氬離子拋光技術在鍍膜樣品中的應用
氬離子拋光技術是對樣品表面或者截面進行拋光，得到表面光滑無損傷的樣品，能夠觀察到樣品內(nèi)部真實結(jié)構(gòu)。Gatan公司生產(chǎn)的精密刻蝕鍍膜系統(tǒng)——PECSII685（圖1），是集拋光和鍍膜于一體的氬離子拋光設備，它采用兩個寬束氬離子束對樣品表面進行拋光。685可以做普通的拋光方法無法解決的問題：a.氬氣的工作氛圍，可以有效保護容易氧化或者對水蒸氣特別敏感的材料；b.樣品臺采用液氮制冷方式，可以有效的保護熱敏感的樣品，避免離子束熱損傷；c.685自帶的精確到納米級別的鍍膜功能，可以有效...
